公司: | 济南创谱仪器有限公司 |
联系人: | 董梅霞(销售人员) |
所在地: | 山东 - 济南,山东省济南市槐荫区德迈国际信息产业园科研楼12栋 |
价格: | 面议 |
联系: | 微信:CPYQ-JN
手机:15550073138 |
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探针台手动测试晶圆探针台失效分析IV测试光电测试探针
产品信息:
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数:
样品台XYZR四维调节,XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定,Z轴行程10mm,XYZ整体分辨率3μm,360°旋转粗调可锁紧
兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
整体尺寸小,方便携带,底部隔振地脚,提高测试稳定性
漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
探针采用进口交叉滚珠导轨/精密导轨槽,线性移动,无回程差设计
1微米以上电极/PAD使用
U型探针架,可以放置多个探针座
多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;广泛用于科研院校以及公司!

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